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荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

簡要描述:ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒,因此持續(xù)運行時間極長。
ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對特定應用的光譜范圍而設計的。然而,對于掩模檢查的應用,公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶,已在全球范圍內(nèi)獲得專li。荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

  • 產(chǎn)品型號:TEUS S-100
  • 更新時間:2024-08-07
  • 訪  問  量:1242

產(chǎn)品簡介

品牌其他品牌價格區(qū)間10萬-15萬
照射方式內(nèi)照式光源種類氙燈光源
應用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,電子,航天,電氣

詳細介紹

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

產(chǎn)品介紹:

ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有ji高的亮度和ji高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒,因此持續(xù)運行時間極長。

ISTEQ公司為LPP光源開發(fā)的燃料是針對特定應用的光譜范圍而設計的。然而,對于掩模檢查的應用,公司開發(fā)了一種高頻錫旋轉(zhuǎn)靶,已在全球范圍內(nèi)獲得專li。

產(chǎn)品特點:

·高亮度以及出色的穩(wěn)定性

·最少的碎片

·ji高的正常運行時間

·高占空比和交鑰匙操作

·用戶友好的自動化協(xié)議,確保系統(tǒng)平穩(wěn)運行,沒有中斷的風險。

產(chǎn)品應用:

·掩模和表面檢查:

·圖案掩模檢測 (PMI)

·區(qū)域掩模檢測 (AIMS)

·掩??瞻讬z測 (MBI)

·EUV 掃描儀檢

·材料科學

·晶圓檢查


     TEUS 系列激光等離子體光源

型號參數(shù):

型號

TEUS S-100

TEUS S-200

TEUS S-400

激光平均功率100

400



脈沖重頻2550100EUV功率立體角0.05




等離子體尺寸m

60 4  (13.5 nm±2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr


碎片處理系統(tǒng)后角內(nèi)光通量11 22 44 W/mm2·sr

 80  280

 310≥ 3% rms


10%

不少于4個月

不少于24/7運行狀態(tài)下,使用特殊膜過濾器情況下,收集器壽命下降18個月

不少于4個月

維護時間間隔

 - 1 

 - 2

 - 1

***

3個月

5 kW

10.5 kW

尺寸(長×寬×高)1500×1200




重量,包括激光組件770




房間潔凈度等級

101525/分鐘


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